Radiación en aplicaciones RTP (Rapid Thermal Process): versátil y de gran rendimiento

Las lámparas halógenas de tungsteno se utilizan para generar radiación infrarroja en aplicaciones de semiconductores tales como RTP (Rapid Thermal Process). La tecnología de radiación térmica se puede utilizar para cambiar materiales en placas base para chips de semiconductores u obleas de semiconductores hechas de silicona.

Para este propósito se montan normalmente un grupo de lámparas dentro del sistema térmico, muy cerca de la superficie de la oblea de semiconductores. El ciclo de estrés térmico de estas lámparas es extremadamente corto e incorpora secuencias de calentamiento constantes y de enfriamiento dependiendo de los requisitos. El calor uniforme por dentro y entre las obleas de semiconductores es de vital importancia en este caso.

Lámparas halógenas de cuarzo

Las lámparas halógenas de cuarzo de uno y dos casquillo se utilizan en aplicaciones RTP o CVD. Lámparas infrarrojas de cuarzo convierten de manera eficiente la energía eléctrica en calor irradiado. En las plantas de fabricación de semiconductores, las lámparas halógenas de cuarzo se utilizan en los sistemas o cámaras que permiten la transferencia de calor de alta intensidad durante los ciclos de operación cortos. Además, las lámparas halógenas de cuarzo con un filamento proporcionan flexibilidad adicional al ajustar las diversas temperaturas requeridas para el proceso.

Lámparas especiales: búsqueda de distribuidores

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