Microlitografía

Las lámparas de mercurio de arco corto (también denominadas mediante la abreviatura HBO), con un consumo energético de entre 200 y 8.000 W, se usan principalmente como fuente de luz en la fabricación de microchips, pantallas de cristal líquido (LCD) y placas de circuito impreso (PCB). Mediante la colaboración constante de OSRAM, en calidad de fabricante de lámparas, y los fabricantes de dispositivos o los usuarios locales, se ha desarrollado, respectivamente, un gran número de lámparas de mercurio de arco corto y variantes de estas para generar la radiación adecuada para prácticamente cualquier aplicación.

Lámparas HBO para litografía con exposición UV de circuitos integrados:

- Utiliza la línea I del espectro de emisión (365 nm) o la radiación ultravioleta pro

- Larga vida útil con un deterioro mínim

Lámparas HBO para litografía mediante exposición UV de pantallas planas y placas de circ

- Emisión más brillante en un espectro de entre

- Diseñadas para un modo de potencia constante y/o intensidad

Lámparas HBO para exposición UV de envases, sistemas microelectromecánicos y litografía de LED:

- Se utilizan para alineadores de máscaras, envases avanzados e

- Oscilan entre 350 y 2.500 W

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